由于慢走丝线切割机是采取线电极连续供丝的方式，即线电极在运动过程中完成加工，因此即使线电极发生损耗，也能连续地予以补充，故能提高零件加工精度。慢走丝线切割机所加工的工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上，且慢走丝线切割机的圆度误差、直线误差和尺寸误差都较快走丝线切割机好很多，所以在加工高精度零件时，慢走丝线切割机得到了广泛应用。除了早期的中小型企业，在诸如航空，汽车，医疗等大型企业的加工工厂内也极为常见。

低速走丝电火花线切割加工采用水质工作液。水有一定的导电性，即使经过去离子处理，降低电导率，但还有一定的离子数量。当工件接正极，在电场作用下，OH-离子会在工件上不断聚集，造成铁、铝、铜、锌、钛、钨的氧化和腐蚀，并使硬质合金材料中的结合剂—钴成离子状态溶解在水中，形成工件表面的“软化层”。曾采用提高电阻率的措施(由几十千欧?厘米提高到几百千欧?厘米)，尽可能降低离子浓度，虽对改善表面质量起了一定的作用，但还是不能有效地彻底解决“软化层”的问题。

为了保证高精度的加工，采用了许多技术措施来提高主机精度：①控制温度。采用水温冷却装置，使机床内部温度与水温相同，减小了机床的热变形。②采用直线电机。响应度高，精密定位可实现0.1μm当量的控制，进给无振动，无噪音，提高放电频率，保持稳定放电，两次切割Ry5 μm。③采用陶瓷、聚合物人造花岗岩制件，其热惯性比铸铁大25倍，降低温度变化对切割精度的影响。④采用固定工作台、立柱移动结构，提高工作台承重，不受浸水加工和工件重量变化的影响。⑤采用浸入式加工，降低工件热变形。⑥电机伺服，闭环电极丝张力控制。⑦高精度对刀：采用电压调制对刀电源。对刀精度可达±0.005 mm，不损伤工件，不论干湿。

电路

此处所述电路是指加工时的电源供给线路。

1.碰数线 碰数线连接上机头导电块与工作台，当走线放电状态下，电极线于装夹于工作台的工作物接触时，便形成短路现象。

2.高压线 加工输入电流的负极线，连接上机头和下机头，走丝放电状态下带负电与工作物产生间隙放电。

3.台面线 加工输入电流的正极线，连接工作台。

4.回路线 连接工作台左右端，增加电流的回路，有些机床已通过改善省去此线。