小型蒸镀仪一：产品参数

1． 产品名称：小型蒸镀仪

2． 产品型号：KT-Z1650CVD

3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan

4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

二：功能要求

KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽 小功能齐全。配备 7 寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功 能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及自动电动 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室为透明玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄 膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

三：主要技术要求

1． 控制方式：7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制

2． 加热方式：数字式功率调整器

3． 镀膜功能：0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程 序

4． 功率：≤1200W

5． 输出电压电流：电压≤12V 电流≤120A

6． 真空度：机械泵 ≤5Pa（5 分钟） 分子泵≤10^-3Pa

7． 挡板类型：电控

8． 真空腔室：玻璃罩+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

9． 样品台：可旋转φ62 （可安装φ50 基底）

10． 样品台转速：8 转/分钟

11． 样品蒸发源调节距离：70-140mm

12． 蒸发温度调节：≤1800℃

13． 支持蒸发坩埚类型： 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚

14． 预留真空接口：KF25 抽气口 KF16 真空计接口 KF16 放 气口 6mm 卡套进气口

四：主要配置要求

1．1 台 · 小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD 主机

2．1 个 · 真空挡板阀 KF25 接口

3. 1 个 · 放气阀 KF16 接口

4. 1 个 · 52T 真空计 KF16 5. 1 台 ·

（选配）分子泵真空机组，机械泵